TSP-610 /810/910/1270 单面抛光机

单面抛光机是一款操作简单,兼容性强,搭配不同盘配合相应的液可实现多种半导体材料高精度抛光设备,抛光盘可定制,根据量产要求多种规格可选。

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产品特点

  • 加压方式

    加压方式

    气缸加压,压力控制精确

  • 恒温系统

    恒温系统

    抛光盘温度控制系统

  • 工艺优化

    工艺优化

    可加工含蜡工艺&无蜡工艺

  • 清洗功能

    清洗功能

    PAD刷洗

性能参数

规格/型号 TSP-610 TSP-810 TSP-910 TSP-1270
抛光盘规格 OD610mm OD810mm OD914mm OD1270mm
抛光盘转速 0~90 RPM 0~90 RPM 0~90 RPM 0~60 RPM
陶瓷盘规格 OD240mm OD305mm OD360mm OD485mm
抛光头数量 2 4 4 4
抛光头转速 0~90 RPM 0~90 RPM 0~75 RPM 0~65 RPM
抛光头摆动
硬轨液压车刀系统 可选配 可选配 可选配
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