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如何为半导体应用选择压力传感器

作者:北京特思迪半导体设备有限公司    时间:2023-02-08    阅读量:1476

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半导体设备早已融入人们生活中的方方面面中,小到手机、电脑,大到汽车、飞机等需要运用到电子设备的产品都有着半导体设备的参与,而这些设备的生产和运作都需要高精端、高纯度的设备和仪器来配合使用,以确保安全运作。在生产过程中,压力传感器对于半导体工艺至关重要,如何选择适用于半导体应用的压力传感器?本文将重点介绍半导体应用过程中所涉及的因素,以及是什么造就了一台优秀的压力传感器,以便为您的实际应用选择合适的设备。

半导体应用中压力传感器的关键因素

1. 污染控制

为了降低成本并提高性能,半导体制造不断面临着增加晶片中电路数量和密度的挑战。为了使电路图案变得越来越小,在半导体工艺过程中需要进行大范围的污染控制,以避免即使是微小的外来颗粒也不会对暴露的晶片表面造成损坏,从而保障电路图案绘制准确。

2.光滑的表面

光滑的表面减少了暴露在使用过程中的表面积,并减少了在安装期间和重复使用后水分或异物粘附在仪器上的机会,减少细菌和杂质的产生。

3.可靠的材质

压力传感器的材料必须与过程介质兼容并具有可靠的质量。高纯度等级的 316L不锈钢常用于压力传感器,因为它们具有高耐腐蚀性和抗氢脆性。这些因素会影响压力传感器的长期安全性、可重复性和稳定性。

4.安全认证

由于使用的半导体设备‍器件中有很多气体,因此必须对它们进行特殊处理以避免与它们产生化学反应,例如对半导体气体进行惰性处理以避免与易燃溶剂发生反应。此外,一些实验室设备需要使用特殊的实验室防爆认证来保护其仪器设备免受潜在的爆炸威胁。半导体气体可能易燃易爆有毒,因此必须选择具有防爆认证的压力传感器,以解决至关重要的安全问题,避免发生爆炸或产生过量的有毒气体,威胁人身安全和实验室设备安全。

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