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特思迪晶圆抛光设备的3个优势

作者:    时间:2023-05-08    阅读量:1541

纵观全球芯片行业目前火爆,大量的新能源汽车,新家电,电脑,游戏机,相机,手机,都离不开芯片的支持。芯片是晶圆切割完成的半成品,晶圆是芯片的载体,将晶圆充分进行切割就就成了一块块的芯片了。而制作晶圆的半导体设备就是晶圆抛光机。北京特思迪半导体设备有限公司,作为专注于半导体领域超精密平面加工设备的研发、生产和销售的企业,特思迪研发和制造的减薄、抛光、cmp设备等系列产品,广泛应用于化合物半导体衬底、半导体器件、先进封装、MEMS等多领域,可为客户提供更高精度、更高稳定性的设备+工艺+技术的系统解决方案。特思迪晶圆抛光设备有哪些优势呢。

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优势一,特思迪cmp设备应用广泛。特思迪CMP晶圆抛光设备,采用手动装片方式,可选配半自动loading托盘,气囊薄膜柔性加压,可配置摩擦力&温度终点监控系统,用于氧化物、金属、STI、SOI、MEMS等产品的平坦化抛光,应用广泛。

优势二,晶圆抛光产品功能全面,操作简便、兼容性好、占地面积小。它具备气囊背压功能,抛光盘内置冷却系统,可选配摆臂式修整器和摩擦力&温度检测终点监控功能;机械的智能化和自动化程度高,操作简便,仅需PC控制系统,操作员通过触摸屏控制,可选配半自动loading托盘,一键式自动完成CMP加工;兼容性好,有3路独立供液管路,便捷更换式抛光盘,可更换4、6、8或12英寸的抛头,兼容不同尺寸类型的晶圆;占地面积小,适用不同的场地。

优势三,晶圆抛光机作为半导体cmp设备,主要优点是生产效率极高,生产周期短,经济实用、容易实现。切片、研磨、抛光是晶圆片成型不可或缺的工序步骤,而晶圆抛光加工设备采用无极变速方式可以保障加工的效率。在芯片行业中,如果硅晶圆的直径越大,代表著这座晶圆厂有较好的技术。另外第三代半导体scaling技术缩小了晶圆尺寸,制作出更多的硅晶粒,提高品质降低了成本。目前为止6寸、8寸、12寸晶圆当中,12寸晶圆普遍具有较高的产能。

晶圆抛光机在制造半导体晶圆有着至关重要的作用,有其独有的优势。未来,抛光机将更加智能化,自动化程度更高,兼容性更好,为半导体行业带来更大的变革。特思迪晶圆抛光设备凭借出色的产品设计和可靠的项目表现,相信在未来也会在晶圆制造产业中拥有大展拳脚的机会。

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