双面加工
气囊加压方式，比例阀精确控制压力
抛光盘温度控制系统
独特的抛光盘面型控制工艺
| 规格/参数 | TDP-1200 | TDP-1200A |
| 制程工艺 | 双面机械抛光 | 双面化学机械抛光 |
| 加压方式 | 气囊 | 气囊 |
| 抛光压力 | Max1000 kgf | Max1000 kgf |
| 上下抛光盘尺寸 | OD1100 mm | OD1100 mm |
| 游星轮规格 | 14B*6 | 14B*6 |
| 上下抛光盘转速 | 0-70 RPM | 0-70 RPM |
| 内环转速 | 0-115 RPM | 0-115 RPM |
| 外环转速 | 0-40 RPM | 0-40 RPM |
| 外环升降 | 有 | 有 |
86-10-6477 8430地址：北京市顺义区杜杨北街3号院6号楼 101300
邮箱：sales@tsd-semicon.com
