气缸+气囊二级压片，贴蜡精度高
机械手自动传片，具备晶圆定位功能
PLC触摸屏控制，手动/机械手臂上片后、滴蜡、甩蜡、烘烤、压片均为自动作业
滴蜡-甩蜡-烘烤-贴片-加压-冷却；晶圆自动清洗，贴蜡效果好
| 规格/参数 | TLB-360FM | TLB-485FM |
| 晶圆尺寸 | 2-6 inch | 4-8 inch |
| 陶瓷盘规格 | OD360 mm | OD485 mm |
| 上片方式 | 全自动 | 全自动 |
| 清洗工位 | 纯水+PVA刷 | 纯水+PVA刷 |
| 甩蜡转速 | 0-3000 RPM | 0-3000 RPM |
| 烘烤温度 | Max350℃ | Max350℃ |
| 压片装置 | 气囊+气缸二段压片 | 气囊+气缸二段压片 |
| 加热温度 | Max250℃ | Max250℃ |
| 陶瓷盘冷却系统 | 有 | 有 |
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