抛光机是将一些物体表面的粗糙部分进行抛光处理，以达到镜面效果。抛光分两个阶段进行，粗抛光的目的是去除磨光损伤层，这个阶段应该有很大的抛光速率，粗抛光造成的表面损伤是次要考虑因素，但应尽可能小。二是精抛光，其目的是去除粗抛光造成的表面损伤，尽可能地减少抛光损伤。

粗抛光后，抛光表面光滑，但无光泽，显微镜下有均匀细小的磨损痕迹，需精抛光消除。精抛光时可适当提高转盘速度，抛光时间适当，可将粗抛光的破损层扔掉。精细抛光后，磨削表面光亮如镜，在显微镜的亮场条件下看不到划痕，但在相衬对比照明条件下仍能看到磨损痕迹。

传统抛光工艺的过程中，难免会存在一些不足。无论传统的处理方法多么准确，都可能导致平行度和平滑度降低，也可能导致边缘塌陷和划痕等问题。这就需要衬底抛光机对其进行加工改进，此设备是解决问题的设备。也正是由于传统工艺的不足，在此基础上研制出了衬底研磨机。

衬底抛光机是一种精密研磨抛光设备。将研磨抛光的物料置于磨盘上，磨盘作逆时针旋转，修正轮带动工件旋转，加压气缸对工件施加压力，以达到研磨抛光的目的。研磨盘修整机构采用液压悬浮导轨往复运动，金刚石剃齿刀准确修整磨盘研磨面，达到理想的平整效果。衬底抛光机用途广泛，可适用于不同行业、不同材质的平面抛光，主要对各种材料的工件表面进行抛光，使其达到一定的平面度、平行度和光滑度，更美观，适用于金属平面(及非金属材料)的研磨抛光及电镀前的表面处理。

附注：未经专门培训，严禁使用衬底抛光机。过培训的专门人员也必须精通，才能在工作岗位上工作。机器刚开机时，抛光机的速度不宜调整过快，用力不宜过强。有必要先在不显眼的地方试抛光，确保正常后再抛光。