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双面研磨机
TDL-600/1200
该系列双面研磨机是一款高精度、高稳定性的研磨加工设备,具备上盘、下盘、内环主动驱动,可根据客户需求定制游星轮,通过搭配不同材质的研磨盘和不同粒径及材质的研磨液,实现各类半导体材料的双面研磨加工。
TDL-600
TDL-1200
加压方式
气囊
研磨压力
Max400 kgf
上下抛光盘尺寸
OD630 mm
游星轮规格
9B*5
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Features
产品特点
加压方式
气囊加压方式 比例阀精确控制压力
加工方式
双面加工
工艺优化
独特的研磨盘面型控制工艺
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