玻璃基板CMP_玻璃基板TPP-1310_CMP抛光机-特思迪

玻璃基板CMP

TPP-1310

人工将载板放到上下料工作台上，通过上下料工作台将载板放到上抛光盘上，然后进行自动抛光，机台配置摩擦力终点检测，可自动抛光至目标值才停止。

TPP-1310

晶圆尺寸

515*510mm / 600*600mm

抛光盘数量

1 个

上主轴抛光盘直径

OD930 mm

吸附方式

无蜡垫吸附

Features

产品特点

终点检测

配备先进的高精度EPD监测功能

分区加压

优化压力分布，确保抛光均匀性

兼容性好

设备可兼容不同尺寸的基板

半自动上下料

独创轻接触上下料系统，避免损伤