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金刚石抛光机
TGP-1040/1060/1540 series
该设备是专门针对金刚石材料开发的抛光设备，具备单轴多工位，抛光盘具备高转速、摆动运行等特点，真空吸附&夹具双重固定金刚石衬底，满足金刚石材料的高速抛光需求。
TGP-1040
TGP-1060
TGP-1540
抛光盘规格
OD400 mm
抛光头数量
4个
抛光头尺寸
2/4英寸
抛光盘转速
0-1500 RPM
产品咨询
Features
产品特点
超高转速
抛光盘超高转速抛光
加压方式
气缸加压 压力控制精准
驱动形式
抛光头主动旋转 抛光盘摆动旋转
恒温控制
抛光盘/抛光头温度控制系统
兼容性好
最大可加工6英寸晶圆
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