后清洗机结构：

1个腔体；双面刷洗机构（摆臂式）；兆声清洗+甩干+N₂吹干机构（摆臂式）
双面刷洗机构：清洗液: DIW or 专用清洗液；清洗液供给 : 喷嘴（2路独立供液）清洗液、DIW流量可调；刷子类型 : 两个 PVA 刷子；刷子位置间隙调整：手动可调；转速: Max. 200 rpm；刷子尺寸：LxI.DxO.D = 170x31x70 mm；配置12英寸工装套件，可支持12英寸晶圆刷洗；兆声清洗+甩干+N₂吹干机构；甩干转速 : Max 2,000 rpm；DIW 冲洗, N₂吹干；配置兆声波喷头
控制系统：
PLC控制系统+触摸屏；手动loading、unloading；