单面抛光机
TAP-400/450/500/600 series
该系列抛光机是双轴高精密单面抛光设备,设备可依据不同晶圆配置相应抛光头,真空吸附固定晶圆,气囊加压,抛光压头自转并兼具摆动功能,适用于各种半导体材料的抛光。
  • 抛光盘规格

    OD400 mm

  • 抛光头数量

    2个

  • 抛光头摆动

    摆幅摆速可调

  • Features
    产品特点
    驱动形式
    抛光压头自转&摆动驱动系统
    加压方式
    真空吸附固定晶圆 气囊加压
    恒温控制
    抛光盘温度控制系统
    配置丰富
    双轴加工 配置抛光垫修整器
    兼容性好
    可依据不同种类晶圆配置相应抛光压头
    压力校准
    精密称重传感器监测下压压力
    加工便捷
    可配置半自动loading上下片系统
    产品咨询
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