单面抛光机 TAP-500/600 Dual series_品牌厂家-特思迪半导体设备公司

单面抛光机

TAP-500/600 Dual series

该系列抛光机是双抛光盘的高精密单面抛光设备，可实现四轴同时加工，设备可依据不同晶圆配置相应抛光头，真空吸附固定晶圆，气囊加压，抛光压头自转并兼具摆动，适用于各种半导体材料的抛光。

TAP-500 Dual TAP-600 Dual

晶圆尺寸

6英寸

抛光盘规格

OD520 mm

抛光盘数量

2个

抛光头数量

4个

Features

产品特点

兼容性好

最大可加工8英寸晶圆

加压方式

真空吸附固定晶圆气囊加压

驱动形式

可实现双盘4抛光头同时加工

清洗功能

浸没超声清洗压头反吹水自清洗