外气囊加压、 纳米级去除
抛光压头自转&摆动驱动系统
配置红外测温系统 保证抛光盘温度恒定
可配置半自动 Loading上下片系统
| 规格/参数 | TMP-150A | TMP-200A |
| 晶圆尺寸 | 4/6 inch | 4/6/8 inch |
| 抛光盘规格 | OD406 mm | OD508 mm |
| 抛光盘转速 | 0-120 RPM | 0-120 RPM |
| 抛光头转速 | 0-120 RPM | 0-120 RPM |
| wafer气囊压力 | 70-500 g/cm2 | 70-500 g/cm2 |
| 保持环压力 | 70-700 g/cm2 | 70-700 g/cm2 |
| 半自动上下片 | 有 | 有 |
| 修整器 | 摆臂式金刚石修整器 | 摆臂式金刚石修整器 |
| 修整器转速 | 0-80 RPM | 0-80 RPM |
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