外气囊加压、纳米级去除
配置红外测温系统，保证抛光盘温度恒定
双面PVA刷自动双面刷洗干燥
全自动上下片，干进干出
| 规格/参数 | TPC-2110 |
| 晶圆尺寸 | 6/8 inch |
| 加工形式 | 全自动干进干出 |
| 抛光盘数量 | 1 |
| 抛光盘转速 | 30-200 RPM |
| Wafer气囊压力 | 0-700 g/cm2 |
| 分区加压 | 4 zone |
| 保持环压力 | 0-700 g/cm2 |
| 修整器 | 摆臂式金刚石修整器 |
| 清洗工位 | 3个：2个刷洗+1个兆声&干燥 |
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