Information center

资讯中心

在这里看看最近都发生了什么新鲜事吧。

晶圆研磨机的四大功能-特思迪半导体厂家

作者:    时间:2022-11-11    阅读量:2645

随着半导体行业的不断发展半导体的制作工艺也在不断的提高。其中晶圆研磨机是半导体制作过程中必不可少的工具。通过对这些设备的控制,可以对半导体晶圆进行有效的研磨。

晶圆研磨机的四大功能_北京特思迪半导体设备有限公司_20221108170617211.png

1、快速制晶

快速制晶是制取晶体的首先一步,将在数小时内完成。晶圆研磨床是以低电压在高速运转时将结晶器产生的极低电压转变为高电压并使晶体晶成。它使用高精度可调的半导体材料,可以将晶体晶粒准确地定位在所需要晶粒上或不需要晶粒上作为载流子传递装置而进行流动而获得所需晶晶体。此外,快速制晶还可以在一个连续的时间内完成晶圆制备。

2、高速磨床磨掉多余碳化物

如果晶圆中有很多碳化物,可以使用高速磨床磨掉。在磨削过程中,可以通过增加磨削压力、增加磨削深度等手段提高磨削效果。高速磨床在高功率密度下采用高速运动的原理来研磨晶圆时也会产生很大冲击,所以在低速状态下高速磨削晶圆时必须加强控制和优化。

3、用于半导体生产和制造过程中的加工工序

硅片切割:硅片制作是利用硅块的物理特性来进行切割的,其主要功能有2个方面:一是为了获得更大的切割面积,一般需在生产加工前将基板切割成适当尺寸,从而减少了对硅晶圆表面的损坏;二是通过消除晶圆上多余的碳化物,使基板表面更加光洁。

刻蚀:用研磨抛光加工出适合半导体生产制造要求的图案及微米级抛光效果,用于刻蚀晶圆。这一工序需要使用高速研磨机来磨去碳化物。

清洗:随着电子产品制造工艺的不断进步,以及微处理器发展的需求日益增大,半导体清洗也成为一个比较重要且有难度的加工工序。

4、用于检测电子设备的零部件。

从晶圆表面对元器件进行直接的检测,可以减少对元器件的磨损。还可以对接触件进行良好的装配,减少对表面精度的影响。例如,当检测元器件表面有无划伤,需要检测时,对元器件进行了准确定位和控制,避免了错误操作。如果遇到多个零部件的加工精度问题时,可以进行快速检测。

可见,晶圆研磨机的功能丰富,既可以切割晶圆,根据不同晶圆大小切割出不同规格的晶圆,又可以快速制晶,还可以高速磨床磨掉晶圆上多余的碳化物以及用于半导体生产和制造过程中的加工工序。

欢迎关注公众号
欢迎关注公众号