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晶“圆”的由来和减薄千丝万缕的关系

作者:    时间:2024-04-02    阅读量:203

晶圆之所以被称为晶圆,是因为它是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,其形状为圆形。晶圆是生产集成电路的载体,其原始材料是硅,经过一系列工艺步骤如研磨、抛光、切片等,从硅晶棒切割成一片一片薄薄的硅晶片,用于加工制作成各种电路元件结构,进而成为具有特定电性功能的IC产品。

关于减薄抛光与晶圆的关联,主要体现在以下几个方面:

首先,减薄抛光是晶圆制造过程中的重要工艺步骤。在制造过程中,晶圆需要经过减薄处理,使其达到所需的厚度。减薄抛光工艺通过研磨和化学机械抛光等技术手段,将晶圆的厚度精确控制在目标范围内,以满足不同应用的需求。

其次,减薄抛光对于提高晶圆质量和性能具有重要意义。减薄后的晶圆具有更好的热传导性能,有助于加快散热速度,提高芯片的稳定性和可靠性。同时,减薄抛光还可以进一步平整晶圆表面,去除残余材料,使晶圆表面更加光滑、平整,从而提高半导体器件的性能和可靠性。

此外,随着集成电路制造技术的不断发展,减薄抛光工艺的应用领域也在不断扩展。除了应用于集成电路制造前段工艺和后段工艺的平坦化工艺外,还延伸到硅片表面的初始晶圆片平坦化、计算机硬盘、照相机镜头、薄膜液晶显示器铟锡导电玻璃(ITO)与彩色滤光片等的抛光,以及IC、LED、第三代半导体基片精密研磨、抛光等领域。

综上所述,晶圆之所以称为晶圆,是因为其形状为圆形,并且在制造过程中需要经过减薄抛光等工艺步骤。减薄抛光工艺对于提高晶圆质量和性能具有重要作用,同时也是半导体制造过程中的关键工艺之一。

 


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