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影响化学机械抛光机化学抛光质量因素都有那些?

作者:    时间:2021-02-27    阅读量:1300

  化学机械抛光机使用电解抛光,将工件抛入阳极,不溶性金属为阴极,阳极同时渗透到电解槽中,通过直流电产生选择性阳极溶解,达到提高工件表面亮度的效果。以下简要说明了其中几个因素会影响电化学抛光质量。

  1.电解液

  电解液的比例和配方由加工工件和选定的阴极材料决定。

  2.电流的密度

  电化学抛光都是以高电流密度和电流密度进行的,如果太高,阳极会释放太多氧气,电解质几乎沸腾,会影响抛光质量。

  3.电解质温度

  一般来说,电解质的流动要及时排除电解物,减少温度梯度。因为温度越低,溶解速度越低,生产力越差。

  4.时间

  抛光时间不能太长,通常根据工件的材料,抛光时间最好。

  5.抛光材料的原始表面粗糙度

  使用电化学抛光时要注意原来工件的表面粗糙度。一般来说,粗糙度在0.8相互2.5之间使用电化学抛光,可以获得最高质量的加工表面。

  工件的组织状态

  一般来说,工件的构成状态越均匀,光洁度越好。非金属成分抛光太多,效果就会下降。

  感谢大家耐心看完,如果想要更多关于化学机械抛光机、cmp抛光机的相关知识,欢迎联系我们!


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