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衬底抛光机加工时要注意哪几点?衬底抛光机分为哪几种?-特思迪半导体厂家

作者:    时间:2022-12-01    阅读量:1788

  衬底抛光机是衬底抛光设备的一种在抛光过程中,衬底表面是由各种化学试剂、有机化合物、无机元素组成,其结构为层状。 衬底抛光机是将各种材料研磨成一定的形状与尺寸的一种加工方法。 通过对衬底抛光机进行研磨,使之达到特定性能指标。 衬底磨抛机的主要特点: 磨料由特殊的研磨介质构成,其表面特性与陶瓷、金属磨料接近,具有良好的摩擦性和耐热性; 磨料颗粒呈粉末状可降低噪声和粉尘污染; 工作效率高。

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  一、衬底抛光机在加工时应注意的问题,主要有以下几点:

  ①抛光过程中,衬底下表面与基材之间会产生一定的摩擦力,这将影响研磨的效果。

  ②研磨介质不同,使用的衬底表面会有所不同,使用高质量衬底抛光机时应注意其研磨介质。

  ③衬底抛光机工件在进给时不能超过进给量2倍。

  ④磨料与工件表面要有一定的接触面,这样有利于磨料颗粒在衬底表面上进行充分地接触而进行研磨。

  ⑤如果衬底抛光机作连续加工时,为了防止加工过程中产生崩口等缺陷,需要在工件中加人适量的消光剂。

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  二、衬底抛光机分为哪几种

  1、按生产工艺可分为机械类(如车床)和化学处理,其中机械类有数控机床、普通车床、数控铣床、普通镗床和木工钻床床身的材料为铸铁件,工件采用手工方法加工后采用机械方法进行表面处理。

  2、按抛光工艺可分为:粗抛、精抛,精抛及半精抛等,其中精抛又可分为粗抛与精抛。

  3、按抛光工具可分:砂轮片(砂轮与金属磨料的混合物)抛光与非金属砂抛光 。

  4、按抛光速度可分为快磨和慢磨,快磨是工件表面粗糙度大时的抛光,慢磨是工件表面光亮如镜时的抛光;快磨也有分为粗磨和精磨两种。

  5、按抛光机种类可分为:立式抛光机;卧式抛光机;单台旋转式抛光机等。

  6、按机器重量分可分为:

  (1)重锤和轻锤;

  (2)三重锤和四重锤;

  (3)单锤击法和双锤击法;

  (4)双锤击法等。

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